Holst Centre
Spatial Atomic Layer Deposition maakt op grote schaal produceren van flexibele zonnecollectoren, OLED-lampen, sensoren en beeldschermen mogelijk
De spatial Atomic Layer Deposition (sALD) technologie van TNO bij Holst Centre is een baanbrekende innovatie voor het op grote schaal maken van flexibele zonnecollectoren, OLED-lampen, sensoren en beeldschermen. De mogelijkheid om uniforme, ultradunne lagen van chemische stoffen in grote oppervlakten te produceren is van groot belang voor de mondiale hightech industrie. Door de jarenlange samenwerking tussen kennisinstellingen en het bedrijfsleven in de regio Eindhoven, werd het mogelijk om deze innovatieve technologie van laboratorium naar fabriek te transfereren.
Mondiale fabrikanten van zonnepanelen, batterijen en grote afnemers zoals de automobielindustrie streven naar hogere rendementen van de energieconversie, efficiëntere stroomverbruik, hogere capaciteit van energieopslag onder snellere laadtijden en langere levensduur van flexibele dragers. In al deze groeimarkten is een snelle productietijd tegen zo laag mogelijke kosten essentieel voor succes. Wetenschappelijke testen hebben aangetoond dat sALD, een uitvinding van TNO bij Holst Centre, hierin een doorslaggevende rol kan spelen.
Samenwerking biedt kansen aan de sALD revolutie. Gebaseerd op de sALD-techniek bouwt VDL ETG inmiddels machines waarmee bedrijven als SALD en SALDtech hun producten kunnen vermarkten. Zo heeft SALD haar rol van equipment OEM van R2R sALD machines naar zich toe getrokken. Hiermee creëren vier Nederlandse bedrijven een enorme potentie om de technologie volledig in eigen handen te houden, verder te ontwikkelen en nieuwe markten te penetreren. Door de samenwerking tussen wetenschappelijke organisaties, investeerders, regionale overheden en bedrijfsleven uit de Brainportregio kan er op grote schaal worden geproduceerd. Hiermee groeien de kansen voor Nederland in de internationale groeimarkten van vandaag.
ALD versus sALD technologieAtoomlaag depositie (atomic layer deposition - afgekort ALD) is een technologie die vooral bekend is van de productie van computerchips. Met deze technologie worden in een vacuümapparaat gassen in contact gebracht met een stilstaand materiaal. Zo worden met hoge precisie atoomdunne laagjes – een voor een – na elkaar aangebracht, waardoor het materiaal sterk verbeterde eigenschappen krijgt. Nadeel is dat het traag werkt; pas als een laag helemaal klaar is, kan de volgende laag worden aangebracht. Om toch een hoog volume productie te krijgen, worden meerdere machines tegelijk gebruikt die verschillende batches produceren. Dit kost niet alleen veel tijd, maar ook veel ruimte.
In 2008 ontwikkelden TNO-wetenschappers hiervoor een innovatieve oplossing. Ze ontwikkelde een techniek waarbij een geavanceerde depositiekop de laagjes direct achter elkaar aanbrengt op een snel bewegend materiaal. Deze verbeterde vorm van ALD werd spatiële ALD genoemd. TNO wist hiermee de productiesnelheid 5 tot 10 keer te verhogen, terwijl de coatingkwaliteit gelijk bleef. Bij testen bleek hiermee het rendement van zonnepanelen sterk te kunnen worden verbeterd. VDL ETG Projects en TNO bij Holst Centre werkten samen om de nieuwe ALD technologie op te schalen naar grotere foliematen in een R2R (roll-to-roll) tool. Deze wordt onder andere ingezet bij onderzoek om gevoelige flexibele zonnecellen te beschermen tegen de barre omgevingsomstandigheden, waardoor hun levensduur wordt verlengd.
Schematische weergave van het roll-to-roll Spatial ALD concept. Kunststoffolie wordt om een trommeloppervlak gewikkeld, van waaruit reactieve gassen (blauw en rood) worden toegevoerd, gescheiden door stikstof (groen). Door zowel de trommel als de folie te bewegen, wordt een dunne ALD-laag op de plastic folie aangebracht.
De partners
SALD, de innovator in Spatial ALD toepassingenSALD is een spin-off van SoLayTec, dat sinds 2010 geavanceerde Spatial ALD-machines ontwikkelt en verkoopt voor de massaproductie van zonnepanelen. Met de diepgaande expertise op het gebied van spatiële ALD-technologie, gecombineerd met het unieke vermogen om deze van lab naar fab te brengen, ziet SALD grote kansen in de groeimarkten van nu. Zo werd de technologie verwerkt in een compacte machine die zowel voor onderzoek kan worden ingezet als voor kleinschalige productie. Daarbij maakt het niet uit om welk product of materiaal het gaat: batterij, zonnepaneel of OLED-lampen gemaakt op rigide drager of folie. SALD beschikt bovendien als enige ter wereld over de expertise om de Spatial ALD technologie vervolgens snel en betrouwbaar naar hoog volume productie op te schalen. Hiermee wil SALD voorop lopen in de veelbelovende nieuwe Spatial ALD toepassingen.
SALDtech: productie flexibele displaysDe ontwikkeling van sALD resulteerde in 2018 in de oprichting van SALDtech B.V. In Eindhoven bouwt SALDtech machines die fabrikanten nodig hebben om de innovatieve productiemethode voor flexibele displays toe te kunnen passen. TNO is een van de aandeelhouders van SALDtech en is daarnaast ook nog nauw betrokken bij de verdere ontwikkeling van de technologie. Door een gezamenlijke investering van drie miljoen euro door Innovation Industries en de Brabantse Ontwikkelings Maatschappij (BOM) kon de spin-off van TNO bij Holst Centre zich gaan richten op de integratie van de sALD technologie in de productielijnen van fabrikanten van beeldschermen voor onder andere mobiele telefoons, tablets, TV's en zelfrijdende auto's. In 2019 ontving SALDtech een tweede financieringsronde van de BOM en Innovation Industries. Hiermee kreeg de ontwikkeling voor de massaproductie van volgende generaties displays, zoals flexibele, opvouwbare en oprolbare displays een impuls.
VDL Enabling Technologies Group (VDL ETG), fabricage complexe apparatuur hightech maakindustrieVDL Enabling Technologies Group (VDL ETG) is een wereldwijd opererende fabricagepartner van toonaangevende apparatuur in de hightech maakindustrie. De klanten van VDL ETG verkopen bijvoorbeeld productiemachines voor halfgeleiders, dunne-film zonnecellen, analytische meetsystemen, medisch apparatuur en systemen voor ruimtevaart en defensie. VDL ETG maakt complexe onderdelen, assembleert subsystemen en integreert volledige productietools in zes fabrieken in Nederland, Zwitserland, China en Singapore. Het bedrijf biedt uitgebreide ontwikkeling en engineering ondersteuning aan haar klanten gedurende de hele levensduur van de geleverde producten. Een gespecialiseerde business unit, VDL ETG Projects, heeft expertise voor het ontwerpen, bouwen en installeren van prototypes, R&D equipment en "first-of-a-kind" productielijnen. VDL ETG maakt onderdeel uit van VDL Groep, een Nederlands bedrijf met 104 werkmaatschappijen en een omzet van meer dan 5,7 miljard euro in 2019.
Holst Center, R&D samenwerking industrie en wetenschap. Holst Centre is een onafhankelijk R&D-centrum dat technologieën ontwikkelt voor draadloze autonome sensortechnologieën en flexibele elektronica, in een open innovatieomgeving en in toegewijde onderzoekstrajecten. Een belangrijk kenmerk van Holst Centre is het samenwerkingsmodel met de industrie en de academische wereld, gebaseerd op roadmaps en programma's. Door deze kruisbestuiving kan Holst Centre haar wetenschappelijke strategie afstemmen op industriële behoeften. De basis van Holst Centre is bij te dragen aan het beantwoorden van wereldwijde maatschappelijke uitdagingen op het gebied van gezondheidszorg, levensstijl, duurzaamheid en het Internet of Things (IoT). Dit is zichtbaar in de motivatie van de onderzoekers, de verschillende samenwerkingsmodellen en de keuze van de onderzoeksonderwerpen. Holst Centre is in 2005 opgericht door imec (Vlaanderen, België) en TNO (Nederland) en wordt ondersteund door lokale, regionale en nationale overheden. Gelegen op High Tech Campus Eindhoven profiteert Holst Centre van en draagt bij aan de state-of-the-art on-site faciliteiten. Holst Center heeft meer dan 200 werknemers uit ongeveer 28 landen en een verbintenis met meer dan 50 industriële partners.